Новые возможности молекул органического полимера
Исследователи из корпорации IBM представили
на конференции в Вашингтоне свою последнюю разработку, которая может стать основой
для новой технологии производства полупроводников. В своей работе ученые использовали
органические полимерные молекулы в качестве своеобразного шаблона для создания рисунка
проводящего слоя при производстве микросхем флэш-памяти.
Ранее предпринимались попытки использовать
органические полимерные структуры для создания микросхем, но они сводились в основном
к тому, что эти молекулы были основой для получения отрезков проводников, размеры которых
были меньше, чем при использовании нынешних технологических процессов.
Исследователи из IBM подошли к проблеме с другой
стороны: у них органические полимеры используются в качестве шаблона, через который
проходит свет в процессах фотолитографии. Тем самым удалось незначительно изменить
существующий технологический процесс, что позволит в будущем сократить расходы на
модернизацию производства.
Сведения о полимерах, используемых в новой технологии,
представлены лишь в самом общем виде. Известно только, что применена комбинация (смесь
или совместный полимер) двух хорошо известных полимеров - полистирола и полиметилметакрилата.
Ученые считают, что для создания прототипа микросхемы, изготовленной по новому технологическому
процессу, потребуется от трех до пяти лет.
Источник: не известен